E39 5er - Вибрация на ХХ M52TU

[Sklaus]

Датчик коленвала поменял. Машина стала поприеместей, но дело было не в нем. Вибрация осталась. Поменял свечи + катушки вибрация осталась, проверил на герметичность впускной коллектор все отлично, подсосов нет. Отключил пока лямды(S199a) так как была подозрительная работа второго(помирает скорее всего, но пытается работать), работа стала стабильней но все равно на холостых вибрация. Снял и полностью промыл и проверил весь впускной коллектор. Вибрация осталась и вибрация судя по всему из-за 3го цилиндра(Зашкаливает в плюс по показаниям ровности хода) чуть меньше барахлять 2 и 4 цилиндр. Проверил компрессию все 6 горшков по 14. Снял помыл форсунки, распыл у всех 6 одинаковый. Так же поменял форсы местами(с хороших цилиндров на плохие). Стало лучше 3 не зашкаливает теперь 4 в 0 вышел второй около 0 болтается 5("плохая" форса) тоже стал чуть выше 0. Ваши мысли почему такая хрень с 3 цилиндром может быть. Стоит ли отправить форсунки на ультразвуковую чистку?